半導體製程控制

產業痛點

• 製程條件嚴苛：半導體製造對環境潔淨度與穩定性的要求極高，任何微小的溫度或壓力偏差都可能影響產品良率，造成重大損失。
• 設備選型受限：無塵室對設備材質與排放標準有嚴格規範，許多傳統設備無法符合要求，限制了系統設計與選型彈性。
• 腐蝕性介質挑戰：化學品與超純水（UPW）系統中常見高腐蝕性流體，對驅動器材質與密封性要求更高，若選型不當易造成故障。
• 反應速度不足：部分驅動器反應時間過慢，無法即時配合製程變化，影響控制精度與製程穩定性。
• 高週期運作壓力：半導體設備長時間、高頻率運作，對驅動器的耐用性與可靠性構成挑戰，若無穩定性能將影響整體產能。

解決方案

山野電動驅動器適用於半導體製程中的關鍵流體與氣體控制環節，包括無塵室空調、超純水系統與化學品供應管線。產品具備高精度調控能力與耐腐蝕結構，可在高週期、高純度的製程環境中穩定運作。其快速反應特性有助於提升製程一致性與良率，並支援遠端監控與模組化整合，降低維護需求與人力負擔，協助企業達成高效率、低風險的製程管理目標。