半導体製造プロセス

業界における課題

• 厳格なプロセス要件：半導体製造では、環境の清浄度と安定性に対する要求が極めて高く、わずかな温度や圧力の偏差でも製品歩留まりに影響し、大きな損失につながる可能性があります。
• 設備選定の制約：クリーンルームでは、材料適合性や排出基準に厳しい規制があるため、従来の設備の多くは要求を満たせず、システム設計や設備選定の柔軟性が制限されます。
• 腐食性流体の対応性：化学薬品や超純水（UPW）システムでは、腐食性の高い流体が多く、アクチュエータの材質やシール性能には高い要求が課されます。不適切な選定は故障の頻発につながりやすくなります。
• 応答速度の不足：一部のアクチュエータはプロセス変動への応答が遅く、即時対応できないため、制御精度やプロセス全体の安定性に悪影響を及ぼします。
• 高サイクル運転による負荷：半導体設備は長時間かつ高頻度で稼働するため、アクチュエータには高い耐久性と信頼性が求められます。安定した性能が確保できない場合、全体の生産能力に悪影響を及ぼす可能性があります。

解決策

当社の電動アクチュエータは、半導体製造プロセスにおける重要な流体制御に適しており、クリーンルーム空調（HVAC）、超純水（UPW）、化学薬品自動供給ラインなどで使用可能です。高精度な制御能力と耐腐食性構造により、高負荷・高純度の製造環境下でも安定した運転を実現します。高速応答特性により、プロセスの一貫性と歩留まりを向上させ、リモート監視やモジュール統合により、メンテナンス負荷や作業員依存を最小化します。これにより、企業は効率的かつ低リスクでの製造プロセス管理を実現できます。